電動(dòng)無油真空泵是一種無需任何油作潤(rùn)滑就能運(yùn)轉(zhuǎn)工作的機(jī)械真空泵，它通過電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，在原理的基礎(chǔ)工作上實(shí)現(xiàn)了的真空抽取。電動(dòng)無油真空泵的工作原理常見的有三種，分別與容積泵、爪泵和低溫泵相似，但具體到電動(dòng)無油真空泵，電動(dòng)無油真空泵通過電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)葉片或葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)，產(chǎn)生動(dòng)力。葉片或葉輪的旋轉(zhuǎn)會(huì)產(chǎn)生氣流和壓力差，將氣體從入口吸入泵內(nèi)。隨著葉片或葉輪的繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體被推向泵的出口，并進(jìn)一步排出系統(tǒng)， 從而降低系統(tǒng)內(nèi)部的壓力。此外，電動(dòng)無油真空泵還有通過活動(dòng)的機(jī)械部件實(shí)現(xiàn)容積變化，在體積大時(shí)吸入空氣，體積變小時(shí)排出空氣。例如爪泵就是通過這種方式工作的。依靠非常高的機(jī)械動(dòng)轉(zhuǎn)速度，將空氣分子定向撞擊而攜帶走,如分子泵。在接近零度的冷面上,幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面，這種方式稱為低溫泵。電動(dòng)無油真空泵的特點(diǎn)是無需使用潤(rùn)滑油進(jìn)行潤(rùn)滑，因此對(duì)被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出,不污染環(huán)境，屬于產(chǎn)品。由于無需潤(rùn)滑油，電動(dòng)無油真空泵在運(yùn)行過程中能夠減少能量損失，提高泵的效率。由于沒有潤(rùn)滑油的存在，電動(dòng)無油真空泵的維護(hù)相對(duì)簡(jiǎn)便,減少了更換潤(rùn)滑油和清洗泵體的頻率。電動(dòng)無油真空泵適用于各種需要真空環(huán)境的場(chǎng)合，如半導(dǎo)體制造、食品加工等領(lǐng)域。